【6125】岡本工機
「研究成果最適展開支援プログラム」開発期間延長について
2020-09-18(15:00)
関連タグ：
2020 年９月 18 日 各 位 会 社 名 株式会社岡本工作機械製作所 代表者名 取締役社長 石井 常路 （コード番号 6125 東証 第二部） 問合せ先 総務部長 小河 恵資 （TEL． 027-385-5800）
「研究成果最適展開支援プログラム」開発期間延長について
当社半導体関連装置開発部門において、実用化を目指して研究開発を進めておりました 「Si 貫通電極ウェーハ全自動薄化加工装置」の計画につきまして、JST から支援を受ける開発期間が延長される 事となりましたので、お知らせいたします。 記
1．「研究成果最適展開支援プログラム」の目的
当該事業は、大学・公的研究機関等で生まれた国民経済上重要な科学技術に関する研究成果を基に、実用化を 目指す研究開発フェーズを対象とした国立研究開発法人科学技術振興機関が実施する技術移転支援プログラム です。
2．採択された課題
(1) 課題名 「Si 貫通電極ウェーハ全自動薄化加工装置」 (2) 課題の概要 開発テーマは Si 貫通電極(TSV)ウェーハを高平坦かつ高均一に 10µm-50µm 厚さレベルまで薄層化する加工 技術です。新たに開発した自動 Si 厚さ補正機構付き研削盤、Si/Cu 同時研削技術、および金属汚染低減化技術 を融合した TSV ウェーハ全自動薄化加工装置を世界で初めて実用化します。 (3) 開発期間(
関連タグ：
「研究成果最適展開支援プログラム」開発期間延長について